壓力傳感器(或壓力傳感器)是將實(shí)際壓力值轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的組件。壓力傳感器可配備各種傳感元件，并響應(yīng)該元件上施加的氣體或液體壓力的壓力。然后測量施加在元件上的力，并將其轉(zhuǎn)換為電輸出信號(hào)，以便由PLC、處理器和其他計(jì)算機(jī)監(jiān)控。
當(dāng)今市場上有許多不同的壓力傳感技術(shù)。以下是世界各地傳感器制造商常用的技術(shù)：
1.電容式電容式壓力傳感器通常受到大量OEM專業(yè)應(yīng)用的青睞。檢測兩個(gè)表面之間的電容變化，使這些傳感器能感覺到極低的壓力和真空水平。在我們典型的傳感器配置中，緊湊的外殼包括兩個(gè)金屬表面，空間緊密，平行，電氣隔離，其中一個(gè)本質(zhì)上是一個(gè)可以在壓力下輕微彎曲的隔膜。為了改變組件之間的間隙(實(shí)際上形成了可變電容器)，安裝了這些堅(jiān)固的表面(或板)。變化由帶(或ASIC)的敏感線性比較電路測量。
2.CVD類型-化學(xué)氣相沉積(或“CVD”)制造方法將多晶硅層粘合到分子水平的不銹鋼薄膜上，從而生產(chǎn)出具有優(yōu)異長期漂移性能的傳感器。常用的批量處理半導(dǎo)體制造方法，用于以非常合理的價(jià)格創(chuàng)建性能優(yōu)異的多晶硅應(yīng)變電橋。CVD結(jié)構(gòu)性價(jià)比極佳，是OEM應(yīng)用中最受歡迎的傳感器。
3.飛濺膜類型-飛濺膜沉積(或“膜”)可創(chuàng)建組合線性、滯后性和可重復(fù)性最大的傳感器。精度可達(dá)0.08%，而長期漂移可達(dá)0.06%。
4.MMS類型-這些傳感器使用微加工硅(MMS)隔膜來檢測壓力變化。硅膜通過316SS隔離膜與流體壓力串聯(lián)反應(yīng)，不受介質(zhì)影響。MMS傳感器采用常見的半導(dǎo)體制造技術(shù)，在緊湊的傳感器包裝中具有高耐壓性、良好的線性、優(yōu)異的熱沖擊性和穩(wěn)定性。
5.微熔-玻璃微熔技術(shù)通過高溫玻璃粉在腔體背面燒結(jié)17-4PH低碳鋼硅應(yīng)變計(jì)。壓力腔采用進(jìn)口17-4pH不銹鋼進(jìn)行整體加工，無“O”圈、焊縫、泄漏隱患。
