壓力傳感器的工作原理是介質(zhì)壓力直接作用

壓力傳感器的工作原理是介質(zhì)壓力直接作用在傳感器膜上，使壓力傳感器膜與介質(zhì)壓力成正比，從而改變傳感器的電阻，改變電子線路檢測(cè)，轉(zhuǎn)換與這種壓力相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。在規(guī)定范圍內(nèi)，當(dāng)測(cè)量值增加或減少時(shí)，輸出值最大化。延遲是指輸出信號(hào)變化與輸入信號(hào)變化相比的時(shí)間延遲。

壓力傳感器的主要參數(shù)是：-0.1~0~1~150(MPa)，綜合精度：0.1%FS，0.25%FS，1.0%FS，0.5%FS，輸出信號(hào)：0~5V，1~5V，0~10V(三線制)，4~20mA(二線制)，零點(diǎn)溫漂移：≤±0.05%FS℃，測(cè)量溫度漂移：≤±0.05%FS℃，補(bǔ)償溫度為：0~70℃，安全過(guò)載為：150%FS，極限過(guò)載為：200%FS，響應(yīng)時(shí)間為5mS(上升至90%FS)。

壓力傳感器使用中最重要的性能是傳感器的應(yīng)用，它可以有效地測(cè)量感覺(jué)，并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換為可用的輸出信號(hào)，通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。敏感元件是指?jìng)鞲衅髦锌梢灾苯踊蛳鄳?yīng)測(cè)量的部分，轉(zhuǎn)換元件是指?jìng)鞲衅髦锌梢愿杏X(jué)到或響應(yīng)的被測(cè)量轉(zhuǎn)換為傳輸和測(cè)量的電信號(hào)部分。當(dāng)壓力傳感器輸出為規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)時(shí)，它被稱(chēng)為變送器。壓力傳感器的測(cè)量范圍允許在誤差范圍內(nèi)測(cè)量值的一定范圍內(nèi)。

當(dāng)壓力傳感器的力作用于硅晶體時(shí)，晶體中的晶格變形，使載流子從一個(gè)能量谷散射到另一個(gè)能量谷，進(jìn)而引起載流子遷移率的變化，擾動(dòng)載流子的縱向和橫向平均量，從而適當(dāng)改變硅的電阻率。這種壓力傳感器的變化因晶體取向而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體取向直接相關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計(jì)。前者的電阻主要取決于電阻率的變化，后者的電阻變化取決于幾何尺寸的變化，前者的靈敏度比后者大0~5倍。