微型傳感器的技術參數與應用分析

微傳感器是目前較為成功、也是較為實用的微機電器件，主要包括微壓力傳感器和利用微膜片的機械變形產生電信號輸出的微傳感器；另外還有微型傳感器，這些微型傳感器的面積大多小于1mm2。

隨著微電子加工技術特別是納米加工技術的進一步發(fā)展，傳感器技術將從微傳感器向納米傳感器發(fā)展。這些微傳感器體積小，可以實現(xiàn)許多新功能，便于大規(guī)模生產和高精度生產，單片成本低，易于形成大規(guī)模多功能陣列，非常適合汽車應用。

汽車傳感器是汽車顯示和電子控制系統(tǒng)中使用的各種傳感器的總稱。它涉及許多物理和化學傳感器。這些傳感器要么讓司機知道汽車各個部分的狀態(tài)；或者用來控制汽車各部分的狀態(tài)。

汽車溫度傳感器主要用于檢測發(fā)動機溫度、吸氣溫度、冷卻水溫度、燃油溫度和催化溫度。溫度傳感器主要有三種類型:熱敏電阻型、線繞電阻型和熱電偶電阻型。這三種類型的傳感器各有特點，應用也略有不同。熱敏電阻溫度傳感器靈敏度高，響應特性好，但線性度差，對溫度的適應性低。

其中，一般溫度測量范圍為-50℃~30℃，精度為1.5%，響應時間為10ms；高溫型600℃~1000℃，精度5%，響應時間10ms；線繞電阻溫度傳感器精度高，但響應特性差；熱電偶電阻溫度傳感器精度高，測量溫度范圍寬，但需要與放大器和冷端處理配合使用。其他實用產品有鐵氧體溫度傳感器(溫度范圍-40℃~120℃，精度2.0%)，金屬或半導體薄膜空氣溫度傳感器(溫度范圍-40℃~150℃，精度2.0%，5%，響應時間20ms左右)等。

稱重傳感器原則上是壓力傳感器，但形狀不同。但是，感知的方式通常有很多種，但是可以看到，使用的次數更多。比如地磅用的一般都是渦流式的。也就是說，他有一個渦流觸發(fā)繞組，然后一個傳感器感應渦流強度。由于整個稱重傳感器是用金屬封裝的，所以渦電流受壓后變形，渦電流發(fā)生變化，放大后可以讀取數據。那么，封裝這個東西的材料通常是剛性材料。

總之就是普通金屬，比如鋼，但是不會用什么很軟的東西。因為即使是鋼，即使受壓變形幾微米，渦流的變化也足以感應到它變化了多少，如果是軟金屬，重的時候很容易出問題。至少帶渦流傳感的壓力傳感器不會是軟金屬做的。稱重傳感器檢測電路的功能是將電阻應變片的電阻變化轉化為電壓輸出。

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