壓阻式壓力傳感器的制造工藝概述

典型的壓力傳感器可以分為壓阻、電容、壓電、共振、伺服控制和CMQS集成等幾種類(lèi)型。壓阻式壓力傳感器又稱(chēng)擴(kuò)散硅壓力傳感器，其制造工藝簡(jiǎn)單，線性好，價(jià)格一般也比較低，但對(duì)溫度比較敏感，有可能會(huì)出現(xiàn)溫度漂移，而且靈敏度較低，典型產(chǎn)品的技術(shù)參數(shù)如下。

一是不同的工作原理。

采用單晶硅的壓阻效應(yīng)，構(gòu)成壓阻式壓力傳感器。

大多數(shù)壓電式壓力傳感器都采用正壓電效應(yīng)來(lái)制作。

二是側(cè)重點(diǎn)不同。

壓電式壓力傳感器當(dāng)晶體受到一個(gè)固定方向的外力的作用時(shí)，在其內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生電偏振現(xiàn)象，同時(shí)在兩個(gè)表面上會(huì)同時(shí)產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷；當(dāng)外力被移走之后，晶體又回到不帶電的狀態(tài)；當(dāng)外力的方向發(fā)生變化時(shí)，電荷的極性也會(huì)發(fā)生變化；晶體的電荷量與外力的大小成正比。

壓阻式壓力傳感器以單晶硅片為彈性元件，采用集成電路工藝，在單晶硅膜片上沿一定方向擴(kuò)散一組等值電阻，并將電阻接合到橋路上，將單晶硅片置于傳感器腔中。單晶硅在壓力變化時(shí)會(huì)產(chǎn)生應(yīng)變，使得應(yīng)變電阻直接擴(kuò)散到上面，產(chǎn)生正比于被測(cè)壓力的變化，然后通過(guò)橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。

三是結(jié)構(gòu)不同。

壓電式壓力傳感器是基于壓電效應(yīng)的傳感器。其類(lèi)型和型號(hào)多種多樣，按其彈性敏感元件的形式和受力機(jī)構(gòu)可分為膜片式和活塞式兩種。隔膜式主要由本體、隔膜和壓電元件組成。

壓阻傳感器采用集成工藝在單晶硅薄膜上集成電阻條，制作硅壓阻芯片，并將該芯片的周邊固定封裝在薄膜內(nèi)，引出電極引線。

壓力表是用來(lái)測(cè)量工質(zhì)壓力的元件，其輸出一般為連續(xù)模擬信號(hào)。壓力開(kāi)關(guān)是根據(jù)壓力控制電路而關(guān)閉的元件，其輸出通常為開(kāi)關(guān)值。

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